研究業績(論文)

基本情報

氏名 中平 健治
氏名(カナ) ナカヒラ ケンジ
氏名(英語) NAKAHIRA Kenji

論文名

複数の明度値変動要因を考慮した半導体デバイスSEM画像の超解像処理技術

著者名

宮本敦, 中平健治

雑誌名

精密工学会誌

出版者

 

79

11

開始ページ

1069

 

終了ページ

1073

発行年月日

2013

査読の有無

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掲載区分

 

掲載種別

 

執筆形態

 

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概要

 

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