研究業績(特許)

基本情報

氏名 中平 健治
氏名(カナ) ナカヒラ ケンジ
氏名(英語) NAKAHIRA Kenji

種別

特許

発明の名称

走査荷電粒子顕微鏡を用いた画像生成方法及び装置、並びに試料の観察方法及び観察装置

出願番号

 

出願年

 

公開番号

 

公開日

 

公表番号

 

公表日

 

特許番号

特許第05393550号

発行日

2013/10

出願人

 

発明者

上瀧剛, 宮本敦, 中平健治, 広井高志

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概要

 

備考

 

特許公開フラグ

公開