論文

基本情報

氏名 中平 健治
氏名(カナ) ナカヒラ ケンジ
氏名(英語) NAKAHIRA Kenji
所属 量子情報科学研究所 量子情報数理研究センター
職名 教授
researchmap研究者コード 7000019192
researchmap機関

題名

複数の明度値変動要因を考慮した半導体デバイスSEM画像の超解像処理技術

単著・共著の別

著者

宮本敦, 中平健治

担当区分

概要

発表雑誌等の名称

精密工学会誌

出版社

79

11

開始ページ

1069

終了ページ

1073

発行又は発表の年月日

2013

査読の有無

有り

招待の有無

無し

記述言語

掲載種別

国際共著

国際・国内誌

ISSN

eISSN

ISBN

DOI

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備考