光干渉法を利用した振動センサの原理検証と応用可能性
大江優作, 木村仁, 伊能教夫, 平山義治, 吉田稔
センサモデルを利用した位相接続型光干渉センサの高精度実測手法
計測制御自動学会論文集
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