特許等

基本情報

氏名 中平 健治
氏名(カナ) ナカヒラ ケンジ
氏名(英語) NAKAHIRA Kenji
所属 量子情報科学研究所 量子情報数理研究センター
職名 教授
researchmap研究者コード 7000019192
researchmap機関

種類

特許権

名称

欠陥観察方法及び欠陥観察装置

発明者

嶺川陽平, 中垣亮, 中平健治, 平井大博, 北橋勝弘

出願番号

-

出願日

公開番号

公開日

公表番号

公表日

特許番号/登録番号

特許第05452392号

登録日

発行日

2014/01

URL

形式

出願人機関コード

出願人

権利者

出願国

取得国

JGlobalID

概要

備考