高精度X線CTを用いたMEMSデバイスのリバースエンジニアリング(メタルアーチファクト低減を目的とした画像再構成アルゴリズムの提案)
小関道彦, 佐藤慎平, 木村仁, 伊能教夫
2006年度精密工学会春季大会学術講演会