論文
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基本情報
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| 氏名 | 木村 仁 |
| 氏名（カナ） | キムラ ヒトシ |
| 氏名（英語） | KIMURA Hitoshi |
| 所属 | 工学部 ﾃﾞｻﾞｲﾝｻｲｴﾝｽ学科 |
| 職名 | 教授 |
| researchmap研究者コード | |
| researchmap機関 |
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Development of MEMS Vibrating Sensor with Phase-Shifted Optical Pulse Interferometry
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Yusaku Ohe, Hitoshi Kimura, Norio Inou, Yoshiharu Hirayama and Minoru Yoshida
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2017 IEEE, Electron Devices Technology and Manufacturing Conf. (EDTM)
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～
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2017/03/02
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