論文
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基本情報
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| 氏名 | 谷澤 健 |
| 氏名（カナ） | タニザワ ケン |
| 氏名（英語） | TANIZAWA Ken |
| 所属 | 量子情報科学研究所 超高速量子通信研究ｾﾝﾀｰ |
| 職名 | 教授 |
| researchmap研究者コード | B000266677 |
| researchmap機関 |
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Evaluation of the phase error in Si-wire arrayed-waveguide gratings fabricated by ArF-immersion photolithography
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共著
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Kyosuke Muramastu, Hideaki Asakura, Keijiro, Suzuki, Ken Tanizawa, Munehiro Toyama, Minoru Ohtsuka, Nobuyuki Yokoyama, Kazuyuki Matsumaro, Miyoshi Seki, Keiji Koshino, Kazuhiro Ikeda, Shu Namiki, Hitoshi Kawashima, and Hiroyuki Tsuda
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IEICE Electronics Express
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IEICE
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12
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7
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20150019
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2015/04
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有り
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無し
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英語
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研究論文（学術雑誌）
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国際誌
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